安裝應用自然環(huán)境
●FFU風機過濾器單元組裝應遠離電加熱器、爐子或其他熱原。
●設定FFU風機過濾器模塊場地不能擺放易燃物品,以防發(fā)生火災事故。
●切勿在人體周邊應用具可燃性或揮發(fā)性的化學藥品,假如人體吸進這種化學藥品將有可能會導致火災事故或爆炸等安全事故。
●切勿于人體周邊使用含鹽酸、硫酸、漂白液以及其它具腐蝕化學品,如果采用這種化學品將有可能會導致人體浸蝕及毀壞。
FFU送風方式為凈化空調系統(tǒng)中的運用
1、伴隨著生產(chǎn)工藝流程的不斷進步,微電子工業(yè)生產(chǎn)對周圍環(huán)境以及配套設施的需求越來越嚴,其產(chǎn)品的產(chǎn)出率和穩(wěn)定性*取決于原材料的純度和生產(chǎn)制造環(huán)境中的潔凈度等級,對潔凈技術要求也越來越高。凈化室(區(qū))就是指氣體懸浮粒子濃度值、含菌濃度值可控房間(限制的室內(nèi)空間)。
傳統(tǒng)凈化空調系統(tǒng)通常采用集中化送風方法,即空氣處理設備(電加熱器、冷卻塔、空氣加濕器。粗、初效過濾器等)和離心風機均集中化安裝在潔凈空調機房內(nèi),高效送風口設置在系統(tǒng)軟件的末端,并且以密集的送、回風口把空氣處理設備和凈化室相互連接。這種方法主要缺點取決于適應能力較弱,假如臥室的潔凈度等級要調整,是不太可能的。近些年,凈化空調系統(tǒng)發(fā)生了一種新的送風方法:風機過濾單元(FanFilterUnit通稱FFU)送風方法。此方式氣體由FFU送至凈化室,從送風靜壓箱經(jīng)兩邊夾道回至送風靜壓箱,在送風夾道設干試翅片換熱器解決清潔房間內(nèi)負載。新風系統(tǒng)回收器可集中化建在潔凈空調機房內(nèi),處理之后新風系統(tǒng)立即送進送風靜壓箱。這類送風方法融入能力很強,在某個半導體設備新項目凈化空調系統(tǒng)使用了FFU送風方法,本文結合該工程實例與傳統(tǒng)集中化送風形式進行較為。